to přece záleží na tom, jaký máš řadič. Taky jaké to jsou disky.
Nejbezpečnější řešení je udělat image celého disku (acronis, ...), následně disky vyměnit, složit RAID a image zase rozbalit.
Teoretický rebuild raidu zaživa je taky možný, ale předpokládá to, že nový disk bude mít stejně nebo více sektorů. Navíc u SSD budou téměř jistě 4KB sektory (advanced format) a u 1TB disku spíše ne, takže hrozí špatný alignment.